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FS5001L 系列氣體流量傳感器
FS5001L系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用標(biāo)貼式安裝，使安裝尺寸更加緊湊，可以很容易的實(shí)現(xiàn)在小空間內(nèi)的多傳感器集成。
測量范圍：200SCCM，500SCCM，1000SCCM，4000SCCM，6000SCCM 可選。
測量范圍：200SCCM，500SCCM，1000SCCM，4000SCCM，6000SCCM 可選。