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東隆電子專(zhuān)業(yè)代理美國(guó)honeywell霍尼韋爾空氣質(zhì)量流量傳感器
空氣質(zhì)量流量傳感器有一個(gè)由加熱器與溫度敏感元件組成的薄膜,隔熱的電橋式結(jié)構(gòu)。該電橋式結(jié)構(gòu)對(duì)流過(guò)芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應(yīng)。
電源電壓:8Vdc至15Vdc
工作溫度:-25攝氏度至85攝氏度(-13F-185F)
介質(zhì)相容性:僅限于干燥氣體
AWM2000系列微橋型空氣質(zhì)量流量傳感器是一個(gè)無(wú)源器件,由2個(gè)惠斯通電橋組成,并具有雙向傳感的能力,按照技術(shù)要求,工作時(shí)需要一個(gè)加熱器控制電路,和一個(gè)傳感電橋饋電電路。傳感器中沒(méi)有這兩個(gè)電路,需用戶(hù)自己設(shè)計(jì)。差動(dòng)放大器是傳感電橋一個(gè)有用的接口。它可用來(lái)對(duì)傳感器輸出引入增益和電壓補(bǔ)償。
信號(hào)調(diào)節(jié):非放大型(輸出-44,5mVdc至44,5mVdc)
壓力孔型式:直通型
傳感器電阻:5K歐
流量/壓力范圍 參考型號(hào)
+_200 sccm AWM2100V
+-4.0英寸水柱(10 mBar) AWM2200V
+-1000 sccm(1 SLPM)(每分鐘1標(biāo)準(zhǔn)升) AWM2300V
AWM3000系列如同2000系列,是由雙惠斯頓電橋控制空氣流量的測(cè)量,該AWM3000系列為放大型,所以,它可用來(lái)對(duì)傳感器輸出提高增益和引入電壓補(bǔ)償。加熱器控制電路和傳感電橋饋電電路都集成在傳感器中。
信號(hào)調(diào)節(jié):放大型(輸出1 Vdc至5 Vdc)
壓力孔型式:直通型
流量/壓力范圍 參考型號(hào)
+_200 sccm AWM3100V
+_2.0英寸水柱(5 mBar) AWM3200V
+_0.5英寸水柱 AWM3201CR
+_1000 sccm(1 SLPM) AWM3300V
+_1000 sccm(1 SLPM)雙向 AWM3303V
AWM40000系列微橋型空氣質(zhì)量流量傳感器根據(jù)傳熱原理工作??諝赓|(zhì)量流量橫穿過(guò)傳感器元件的表面。輸出電壓根據(jù)通過(guò)傳感器進(jìn)出口的空氣質(zhì)量流量或其他氣體質(zhì)量流量成比例地變化。特殊設(shè)計(jì)的外殼精確地引導(dǎo)和控制空氣流量橫穿過(guò)微結(jié)構(gòu)傳感元件。組件的機(jī)械設(shè)計(jì)使它能容易地安裝在印刷電路板上。
微橋型空氣質(zhì)量流量傳感器內(nèi)含有先進(jìn)的微結(jié)構(gòu)技術(shù)獨(dú)特的硅芯片。它含有一個(gè)由加熱器和溫度敏感元件組成的薄膜,隔熱的電橋結(jié)構(gòu)。該電橋結(jié)構(gòu)對(duì)流過(guò)芯片的空氣或其它氣體的流量有靈敏快速的反應(yīng)。定位在中央加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件會(huì)批示流向以及流率(量)。微光微調(diào)的厚膜和薄膜電阻器使一臺(tái)器件與下一臺(tái)器件之彰有相容的互換性。
AWM40000系列集中安裝多路測(cè)量設(shè)計(jì),高的共模壓力(陶瓷管型)及寬工作溫度范圍(125度對(duì)于非放大型)擴(kuò)展了應(yīng)用范圍。
壓力孔型式:歧管
信號(hào)調(diào)節(jié) 流量范圍 參考型號(hào)
非放大型(8.5 mV) +_25 sccm AWM42150VH
非放大型(54.7 mV) +_1000 sccm(1 SLPM) AWM42300V
放大型(1 Vdc至5 Vdc) +_1000 sccm(1 SLPM) AWM43300V
放大型(1 Vdc至5 Vdc) +_6 SLPM AWM43600V
AWM5000系列-高流量
AWM5000系列微電橋型空氣質(zhì)量流量傳感器具有一個(gè)提供文丘里型流動(dòng)方式的外殼。這類(lèi)傳感器測(cè)量的流量高達(dá)每分鐘20標(biāo)準(zhǔn)升(SLPM),同時(shí)只產(chǎn)生一個(gè)最大2.25英寸水柱的微壓降。微電橋芯片是與氣流直接接觸的。從而大大降低了因孔板或旁路通道堵塞而帶來(lái)(測(cè)量)的誤差的可能性。
堅(jiān)實(shí)的塑性組件設(shè)計(jì)能承受高達(dá)50 psi的共模壓力,而且小型傳感元件允許有100 q 的沖擊力而不會(huì)影響其性能。所包括的“AMP”兼容的連接器在要求高的應(yīng)用中能提供可靠的連接。
每臺(tái)AWM5000型傳感器都含有放大、線性化、溫度補(bǔ)償和氣體校準(zhǔn)的電路。一個(gè)1至5 Vdc的線性輸出可用于所有列于表內(nèi)的傳感器,與流量范圍(5,10,15或20 SLPM)或校準(zhǔn)用氣(氨氣、二氧化碳、氧化亞氨或氬氣)無(wú)關(guān)。所有的校準(zhǔn)為激光校準(zhǔn),大大增強(qiáng)了器件的一致性。
信號(hào)調(diào)理:放大型(1 Vdc至5 Vdc)
壓力孔形式:螺紋連接,1/4度 NPT
輸出接頭:
引腳1+電源電壓
引腳2接地
引腳3未連接
引腳4輸出電壓
外殼底部的箭頭流向
流量/壓力范圍 參考型號(hào)
0 SLPM至5 SLPM(N2校準(zhǔn)) AWM5101VN
0 SLPM至10 SLPM(N2校準(zhǔn)) AWM5102VN
0 SLPM至20 SLPM(CO2校準(zhǔn))AWM5104VC
0 SLPM至20 SLPM(N2校準(zhǔn)) AWM5104VN
AWM700系列-高流量旁路設(shè)計(jì)
AWM700系列微電橋型空氣質(zhì)量流量傳感器配有一個(gè)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的旁路流通外殼,可提供在線流量測(cè)量。該傳感器能測(cè)量高達(dá)每分鐘200標(biāo)準(zhǔn)升(SLPM)的流量,在這同時(shí),一般會(huì)產(chǎn)生1英寸水柱的壓降。AWM700型組件小巧且具有測(cè)量高流量范圍的性能。
信號(hào)調(diào)理:放大型(1 Vdc至5 Vdc)
壓力孔形式:錐形,22mm
流量/壓力范圍 參考型號(hào)
+200 SLPM(單向) AWM720P1
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