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矽翔微機電系統(tǒng)有限公司(矽翔公司,Siargo, Ltd. )成立于2003。公司總部位于美國加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計并使之產(chǎn)品化的廠商。其核心部件 – MEMS流量芯片及其專利封裝技術(shù)由公司自主研發(fā),可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控,為傳統(tǒng)的流體的計量帶來了根本的變革,提供了全新的拓展空間。
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